ROFIN-BAASEL Lasertech(羅芬)推出新款升級版“雙線晶硅”(Dual Line c-Si)激光處理系統，可在新一代PERC太陽能電池設計的量產中改善產能、降低成本。最新款的雙線晶硅™模塊化生產平臺擬在即將于2014年5月22-24日在中國上海召開的第八屆SNEC太陽能展會中亮相。

針對問題

PERC和選擇性發射機工藝可在晶硅太陽能電池上實現高達1%的絕對效率提升，但該技術需要對批量生產進行遷移并犧牲部分產量作為成本。

解決方案

羅芬公司在光伏創新聯盟(Photovoltaics Innovation Alliance)旗下的FutureFab項目中參與短波和短脈沖激光設備的研發，該類型的設備是減少背接觸孔形成過程中出現的次表層損害、優化背表面鈍化流程。相關研究顯示，復雜的超短飛秒和皮秒激光與納秒激光脈沖在介電層激光刻蝕過程后所形成的表面結構完全不同。然而，在BSF(背表面場)形成之后，相關研究顯示，使用納秒綠光激光脈沖進行的背表面鈍化開槽而制造出的高效太陽能電池，與使用紫外皮秒脈沖工藝具有相同的性能值水平。對于工藝流程優化來說較為重要的一點是使用強度為五倍于上文提及的納米激光源的工業激光的能力，從而大幅降低對每片硅片進行激光處置的流程周期，并改善總體硅片吞吐量，這對于量產應用來說十分重要。

產品應用

本產品可應用于PERC電池的激光刻蝕流程中。

相關信息

Dual Line c-Si激光系統現已搭載了高效SHG納秒激光源，該激光源專為在不增加激光損傷的情況下進行大型點直徑的制造而配置了專門光束模態。這一正在申請專利的工藝流程可在鈍化層進行點陣開槽，從而將掃描速度提高至20m/s以上。憑借激光可是流程周期的大幅縮短，并從而實現生產成本的降低，該產品對于使用點狀結構設計的PERC電池來說是一項具有重大意義的突破。Dual Line c-Si激光系統同時還具有“飛行加工”(on the fly)工藝，這是一套新系統，可在事實上減少硅片在激光處置工藝周期間的處置與傳輸時間，從而憑借高達每小時3600片的高速工藝改善生產力。

上市時間

2014年5月。